3660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃ KOFLOC VIETNAM

Trong các quy trình sản xuất bán dẫn, chế tạo vi mạch, xử lý bề mặt màng mỏng và các phòng thí nghiệm phân tích tinh vi, việc kiểm soát chính xác lưu lượng cực nhỏ của các loại khí công nghiệp như Ni-tơ (N2) đóng vai trò then chốt đối với sự ổn định của hệ thống. Bộ điều khiển lưu lượng khối Kofloc Model 3660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃ được trang bị cảm biến nhiệt độ phân khối hiện đại cùng van điều khiển độ phản hồi cao. Với thiết kế cổng kết nối Swagelok 1/4 inch chống rò rỉ, thiết bị đảm bảo khả năng đo lường và điều tiết chuẩn xác lưu lượng 10 SCCM khí N2 tại nhiệt độ tham chiếu 20 độ C, giúp tối ưu hóa chất lượng sản phẩm và hiệu suất vận hành.

THỐNG SỐ KỸ THUẬT

• Hãng sản xuất: Kofloc

• Model: Model 3660 (3660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃)

• Loại thiết bị: Bộ điều khiển lưu lượng khối khí (Mass Flow Controller)

• Môi chất sử dụng: Khí Ni-tơ (N2) / Khí Air sạch

• Dải lưu lượng danh định: 10 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute)

• Nhiệt độ tham chiếu chuẩn: 20 độ C

• Kích thước cổng kết nối: 1/4 inch Swagelok (1/4 SW)

• Độ chính xác: +/- 1.0% F.S. (Full Scale)

• Độ lặp lại: +/- 0.2% F.S.

• Thời gian phản hồi: Dưới 1 giây (đạt 98% giá trị cài đặt)

• Tín hiệu điều khiển & Đầu ra: Analog 0-5 VDC / 4-20mA (hoặc giao tiếp kỹ thuật số RS485 tùy chọn)

• Áp suất vận hành tối đa: Lên tới 300 kPa (3 bar)

• Vật liệu thân: Thép không gỉ SUS316L / FKM / PTFE

• Cấp bảo vệ: Chuẩn công nghiệp chống bụi và nhiễu điện từ

• Nhiệt độ vận hành: 5 đến 50 độ C

ỨNG DỤNG

• Sản xuất bán dẫn & Vi điện tử: Lắng đọng hơi hóa học (CVD/PVD), sấy màng mỏng và làm sạch bề mặt wafer bằng khí N2 cực tinh khiết.

• Thiết bị phân tích & Phòng thí nghiệm: Cấp khí mang, khí thổi định lượng chính xác trong các máy sắc khí và thiết bị đo lường quang học.

• Công nghệ đóng gói & Bảo quản tinh vi: Kiểm soát dòng khí N2 tạo môi trường trơ cho các quy trình đóng gói linh kiện điện tử và dược phẩm.

• Chế tạo máy & Tự động hóa: Tích hợp vào các bảng điều khiển khí (Gas Panels) phục vụ công tác kiểm định, thử nghiệm rò rỉ và điều tiết khí công nghiệp.

LIST CODE