Trong các quy trình sản xuất bán dẫn, lò xử lý nhiệt, chế tạo vật liệu cao cấp và các phòng thí nghiệm phân tích, việc kiểm soát chính xác lưu lượng khối của các loại khí tinh khiết như Argon (Ar) đóng vai trò vô cùng quan trọng. Bộ điều khiển lưu lượng khối Kofloc Model 3660-1/4SW-AR-1000SCCM-20 degrees được trang bị cảm biến nhiệt độ phân khối hiện đại cùng van điều khiển độ phản hồi cao. Với thiết kế cổng kết nối Swagelok 1/4 inch chống rò rỉ, thiết bị đảm bảo khả năng đo lường và điều tiết chuẩn xác lưu lượng 1000 SCCM khí Ar tại nhiệt độ tham chiếu 20 độ C, giúp tối ưu hóa chất lượng sản phẩm và hiệu suất vận hành hệ thống.

THỐNG SỐ KỸ THUẬT

• Hãng sản xuất: Kofloc

• Model: Model 3660 (3660-1/4SW-AR-1000SCCM-20 degrees)

• Loại thiết bị: Bộ điều khiển lưu lượng khối khí (Mass Flow Controller)

• Môi chất sử dụng: Khí Argon (Ar)

• Dải lưu lượng danh định: 1000 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute)

• Nhiệt độ tham chiếu chuẩn: 20 độ C

• Kích thước cổng kết nối: 1/4 inch Swagelok (1/4 SW)

• Độ chính xác: +/- 1.0% F.S. (Full Scale)

• Độ lặp lại: +/- 0.2% F.S.

• Thời gian phản hồi: Dưới 1 giây (đạt 98% giá trị cài đặt)

• Tín hiệu điều khiển & Đầu ra: Analog 0-5 VDC / 4-20mA (hoặc giao tiếp kỹ thuật số RS485 tùy chọn)

• Áp suất vận hành tối đa: Lên tới 300 kPa (3 bar)

• Vật liệu thân: Thép không gỉ SUS316L / FKM / PTFE

• Cấp bảo vệ: Chuẩn công nghiệp chống bụi và nhiễu điện từ

• Nhiệt độ vận hành: 5 đến 50 độ C

ỨNG DỤNG

• Sản xuất bán dẫn & Màng mỏng: Kiểm soát lưu lượng khí Ar trong các hệ thống phủ màng hút chân chân không, lắng đọng hơi hóa học (CVD/PVD) và khắc plasma.

• Công nghệ hàn & Luyện kim: Điều tiết khí Argon làm môi trường khí bảo vệ tinh khiết cho các quy trình hàn TIG chuyên dụng và lò thiêu kết kim loại.

• Chế tạo bóng đèn & Màn hình hiển thị: Cấp khí Ar chính xác cho quy trình nạp khí vào các thiết bị quang học và linh kiện điện tử.

• Phòng thí nghiệm & Phân tích khí: Tích hợp vào các bảng điều khiển khí tập trung (Gas Panels) phục vụ công tác nghiên cứu, đo đạc và kiểm định chất lượng khí.

LIST CODE