Trong các hệ thống xử lý khí công nghiệp, sản xuất bán dẫn, lò xử lý nhiệt và các phòng thí nghiệm phân tích, việc kiểm soát chính xác lưu lượng khối của các loại khí dễ cháy nổ như Hydro (H2) đóng vai trò then chốt đối với độ an toàn và chất lượng sản phẩm. Bộ điều khiển lưu lượng khối Kofloc Model 3100-1/4SWL-H2-20SLM-20 degree C được tích hợp cảm biến nhiệt độ phân khối hiện đại cùng van điều khiển độ phản hồi cao. Với thiết kế cổng kết nối Swagelok 1/4 inch chống rò rỉ, thiết bị đảm bảo khả năng đo lường chính xác lưu lượng tiêu chuẩn 20 SLM khí H2 tại nhiệt độ tham chiếu 20 độ C, giúp tối ưu hóa hiệu suất vận hành hệ thống.

THỐNG SỐ KỸ THUẬT

• Hãng sản xuất: Kofloc

• Model: Model 3100 (3100-1/4SWL-H2-20SLM-20 degree C)

• Loại thiết bị: Bộ điều khiển lưu lượng khối khí (Mass Flow Controller)

• Môi chất sử dụng: Khí Hydro (H2)

• Dải lưu lượng danh định: 20 SLM (Standard Liters per Minute)

• Nhiệt độ tham chiếu chuẩn: 20 độ C

• Kích thước cổng kết nối: 1/4 inch Swagelok (1/4 SWL)

• Độ chính xác: +/- 1.0% F.S. (Full Scale)

• Độ lặp lại: +/- 0.2% F.S.

• Thời gian phản hồi: Dưới 1 giây (đạt 98% giá trị cài đặt)

• Tín hiệu điều khiển & Đầu ra: Analog 0-5 VDC / 4-20mA (hoặc giao tiếp kỹ thuật số RS485 tùy chọn)

• Áp suất vận hành tối đa: Lên tới 300 kPa (3 bar)

• Vật liệu thân: Thép không gỉ SUS316L / FKM / PTFE

• Cấp bảo vệ: Chuẩn công nghiệp chống bụi và nhiễu điện từ

• Nhiệt độ vận hành: 5 đến 50 độ C

ỨNG DỤNG

• Sản xuất bán dẫn & Linh kiện điện tử: Kiểm soát lưu lượng khí H2 trong quy trình tăng trưởng màng mỏng, ủ nhiệt và xử lý bề mặt wafer.

• Hệ thống lò xử lý nhiệt & Chế tạo kim loại: Điều tiết khí Hydro tạo môi trường khí bảo vệ trong các lò thiêu kết và lò gia nhiệt công nghiệp.

• Công nghệ năng lượng sạch & Pin nhiên liệu: Đo lường và cấp khí H2 chính xác cho các hệ thống thử nghiệm Fuel Cell và điện phân nước.

• Phòng thí nghiệm & Phân tích khí: Tích hợp vào các bảng điều khiển khí tập trung (Gas Panels) phục vụ công tác nghiên cứu và kiểm định chất lượng khí.

LIST CODE